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功能：測量射頻電源的電流
特點：非接觸耦合檢測，損耗小，高精度、高線性度、穩定性好。
應用於8寸、12寸ICP刻蝕等。
版權所有：吉兆源科技有限公司
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王經理
聯系郵箱：wangli@gmpower.cn
gmpower@vip.163.com
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