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产品详情

2MHz射频电源


产品性能


该射频电源采用E类放大器,实现效率高、高可靠性。大的冗余设计,使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络,实现波形的纯净。谐波性能优越,可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数


产品性能


该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。


控制方式


该电源控制方式多样:RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。

产品规格

1250W

2500W

3000W

输出功率

0-1250W 

0-2500W

0-3000W

工作稳定度

≤±0.5%

输出频率

2MHz

频率信号

标准正弦波

输入电压

AC180-250V

输入电流

10A

10A/三相

20A

输出阻抗

50Ω

冷却方式

风冷

水冷

水冷

通讯口

RS232/RS48525kg标准Modbus

模拟控制接口

DB15

DB15

DB15

输出接口

N

N

HN

机箱尺寸

459x440x89

标准2U

459x440x133m

         标准3U

480x450x133

标准3U

面板尺寸

480x89mm

480x133mm


重量

13kg

25kg

20kg


2MHz射频电源
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