2MHz射频电源
产品性能
该射频电源采用E类放大器,实现效率高、高可靠性。大的冗余设计,使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络,实现波形的纯净。谐波性能优越,可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
产品性能
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。
控制方式
该电源控制方式多样:RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。
产品规格 | 1250W | 2500W | 3000W |
输出功率 | 0-1250W | 0-2500W | 0-3000W |
工作稳定度 | ≤±0.5% | ||
输出频率 | 2MHz | ||
频率信号 | 标准正弦波 | ||
输入电压 | AC180-250V | ||
输入电流 | 10A | 10A/三相 | 20A |
输出阻抗 | 50Ω | ||
冷却方式 | 风冷 | 水冷 | 水冷 |
通讯口 | RS232/RS48525kg标准Modbus | ||
模拟控制接口 | DB15 | DB15 | DB15 |
输出接口 | N | N | HN |
机箱尺寸 | 459x440x89 标准2U | 459x440x133m 标准3U | 480x450x133 标准3U |
面板尺寸 | 480x89mm | 480x133mm | |
重量 | 13kg | 25kg | 20kg |