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产品详情
2MHz射频电源
产品性能
该射频电源采用E类放大器，实现***率、高可靠性。大的冗余设计，使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络，实现波形的纯净。谐波性能优越，可承受开路、短路等极端冲击。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
产品性能
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。
控制方式
该电源控制方式多样：RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。
产品规格 | 1250W | 2500W |
输出功率 | 0-1250W | 0-2500W |
工作稳定度 | ≤±0.5% | |
输出频率 | 2MHz | |
频率信号 | 标准正弦波 | |
输入电压 | AC180-250V | |
输入电流 | 10A | 10A/三相 |
输出阻抗 | 50Ω | |
冷却方式 | 风冷 | 水冷 |
通讯口 | RS232/RS48525kg
标准Modbus | |
模拟控制接口 | DB15 | |
输出接口 | N | |
机箱尺寸 | 459x440x89mm 标准2U | 459x440x133mm 标准3U |
面板尺寸 | 480x89mm | 480x133mm |
重量 | 13kg | 25kg |
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