典型应用
全固态射频电源及自动匹配系统为太阳能薄膜的典型工艺，等离子体刻蚀，PECVD，射频溅射、ICP、RIE、CVD和PVD等工艺。
产品介绍
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射频电源
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射频自动匹配器
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清洗机专用射频电源、匹配器一体机
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直流电源
新闻资讯
- 通过中国检验认证集团产品测试 [2014-07-07]
- 通过TUV南德意志集团欧盟安规LVD，CE认证 [2013-06-30]