典型应用

全固态射频电源及自动匹配系统为太阳能薄膜的典型工艺,等离子体刻蚀,PECVD,射频溅射、ICP、RIE、CVD和PVD等工艺。

产品介绍

  • 射频电源

  • 射频自动匹配器

  • 清洗机专用射频电源、匹配器一体机

  • 直流电源