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产品详情
13.56MHz射频电源匹配器一体机
产品性能
该电源为专利产品，通过特殊的射频隔离设计，将射频电源与自动匹配器集为一体，减少射频系统体积。输出功率300W，频率13.56MHz，标准正弦波。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参 数。
应用对象
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：磁控溅射、等离子清洗、PECVD等小型容性射频系统。
产品规格 | 300W |
输出功率 | 0-300W |
工作稳定度 | ≤±0.5% |
输出频率 | 13.56MHz |
承受驻波比 | ＞3.0 |
频率信号 | 标准正弦波 |
输入电压 | AC180-250V |
输入电流 | 3A |
输出阻抗 | 50Ω |
冷却方式 | 风冷 |
通讯口 | RS232/RS485 标准Modbus |
模拟控制接口 | DB15 |
输出接口 | N/UHF |
机箱尺寸 | 440x406x130mm 标准3U |
面板尺寸 | 480x135mm |
重量 | 13kg |
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