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产品详情
13.56MHz自动匹配器
产品性能
匹配器系统采用高速匹配算法，当接近匹配点时，这种高速匹配算法会逐渐的减缓系统的速度，即使在“Q”值很高时也很容易找到匹配点。匹配器可以很快的将输入阻抗调整为50Ω，调整的准确性和可靠性可以很快的响应负载特性变化。
应用对象
该自动匹配器主要应用对象包括：刻蚀、ICP、光学镀膜、等离子清洗、等离子体增强、感应加热及PECVD等系统。
产品规格 | BM-1K | BM-2K | BM-3K | BM-5K | |
匹配范围 | 0-600W | 0-1500W | 0-300W | 20-5000W | |
输出频率 | 13.56MHz | ||||
输入电压 | AC180-250V | ||||
输出电流 | 0.5A | ||||
冷却方式 | 风冷 | 水冷 | |||
输入接口 | N/UHF | 7/16型或N型 | |||
输出接口 | UHF/铜带 | 铜管/铜带 | |||
安装方式 | 为了得到工作性能，匹配器安装必须靠近真空室 | ||||
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