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产品详情
ESC静电卡盘电源
产品特点
1.电源寄存能量低，内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧的损害。
2.通过输出极性转换，降低了夹盘上电荷的风险。
3.短路和开路设计增加了设备的可靠性。
4.突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。
应用对象
单极 | 双级 | 可选功能 |
ESC-3000D： 输出50-3KV，2mA | ESC-3002：可输出±1.5KV，2mA | 极性切换，快速放电，判断wafer吸附状态，偏压可检测可设置（双极），快速切换，穿刺功能，通讯可选(Modbus、EtherCAT） |
ESC-3004S： 输出50-3KV，4mA | ESC-4002：可输出±2KV，2mA | |
ESC-3002S： 输出50-3KV，2mA | ESC-4100：可输出±2KV，100mA | |
ESC-3001S： 输出50-3KV，1mA | ESC-1501：可输出±7.5KV，1mA | |
ESC-8001S： 输出80-8KV，1mA | ESC-4050：可输出±2KV，50mA | |
ESC-4100H：ESC快速切换电源，100mA |
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