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产品详情
ESC静电卡盘电源
产品特点
1.电源寄存能量低，内置电流限制和保护电路设计使设备免受浪涌和电弧的损害。2.通过输出极性转换，降低了夹盘上***电荷的风险。3.短路和开路设计增加了设备的可靠性。4.突出的夹紧性能使本产品更适用于半导体晶片生产过程中。
应用对象
静电卡盘电源可为半导体晶片转移所使用的静电夹盘提供稳定的功劳输出。
输出/输入隔离 | ＞500Ω |
输出电压 | 0-+/-1500VDV对地，端对端***3000VDC |
输出电流 | ***2mA |
输出稳定性 | ≤0.1% |
输出波纹 | ≤0.5% |
输出电压线性度 | ≤0.5%F.S. |
输出极性反转 | 配备 |
输出放电 | 配备 |
电源输入要求 | 24DC，1A |
输出接口 | HV+和HV-使用MHV连接器，HVCT使用BNC连接器 |
模拟接口 | DB25 |
通讯接口 | DB9 |
使用环境 | 0-45℃，10-90%相对湿度，无凝结 |
储存温度 | 0-70℃ |
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